潔淨室幾個熱點（diǎn）問題歸納和（hé）分析

　　一.前言

　　潔淨室的氣流速度/換氣次數，一直是潔淨室設計中受到（dào）關注的（de）問題，隨著潔淨（jìng）室汙染源的控製效果增加及末級過（guò）濾器效率的提高等，對有關（guān）規範、導則等提出的推薦或參考值是否偏於保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等（děng）問題已在（zài）實踐（jiàn）中得到解決，隨著（zhe）FFU的不斷改進，對是否采用FFU回風係統也是（shì）個熱點：懸浮分子汙染(AMC)的控製在（zài）微電子及IC工業中已日益提到日程上來，受（shòu）到（dào）關（guān）注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分（fèn）析。

　　二.氣流速度

　　2.1有（yǒu）關推薦或參考值的應（yīng）用

　　潔淨室內一定潔（jié）淨度下氣流速度的確定，隨潔淨室用途（tú）等具體情況而異，它不僅受室內（nèi）發塵量及過（guò）濾器效（xiào）率還受其他因素影響，就工業潔淨室而言，影（yǐng）響潔淨度及選擇氣流速度的（de）因素主要是：

　　(1)室（shì）內汙（wū）染源：建（jiàn）築物組件、人（rén）員數量及操作活動、工藝設（shè）備、工藝材料（liào）及工藝加工本身等都是（shì）塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大;

　　(2)室內（nèi）氣流（liú）流型及分布：單向流要求均（jun1）勻、平等的流線，但會受（shòu）到工（gōng）藝設備布置和位置變動及人員（yuán）活動情況等的幹擾形成（chéng）局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

　　(3)自淨時間(恢複時間)的（de）控製要求：潔淨室中事故釋放或帶入汙染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔淨度的（de）惡化，恢複到原來潔淨度的自淨時間決（jué）定於氣流速（sù）度;對自淨時間的（de）控製要求取決於（yú）此時間框架內(惡化（huà）的（de）潔淨度下)，對產（chǎn）品生產的質量及成品率影響的承受能（néng）力;

　　(4)末級過濾器的效率：在一定的室（shì）內發塵量下，可采用（yòng）較高效率的過（guò）濾器以降低（dī）氣流速度;為節能應考慮（lǜ）采用較高效率的過濾器，並降低氣流速度，或（huò）采用較低效率的過濾器並（bìng）采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小;

　　(5)經濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合（hé）適的氣流速度為以上諸因素合理（lǐ）的綜合，過大往（wǎng）往不必（bì）要，亦不一（yī）定有效果;

　　(6)對潔淨度要求低的潔（jié）淨室，有時換氣次數決定於室內排熱的要求（qiú）。

　　以上因素，皆（jiē）很難（nán）量化，隻能分析對比並估（gū）計。因（yīn）此（cǐ）在工程應用中，對潔淨室的（de）氣流速度往往參照有關規範、導則等（děng）的推（tuī）薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進行綜（zōng）合考慮後（hòu）確定（dìng）。